SCARA Robots for 2-FOUP or 3-FOUP Reach, single arm or dual arm; optional flipping unit available
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我们的非接触式系列产品旨在帮助我们的客户安全地处理他们的晶圆，机器人夹爪/晶圆对准器采用传感器控制的软接触机械装置 (SoftTouch Mechanism)，在晶圆抓取的过程，夹爪和晶圆之间的接触为轻柔接触。夹持器尖端和晶圆边缘之间的微小接触将信号发送到设备控制机构，该装置控制机构又计算并应用适当的夹持力。夹持力可控、恒定。不管晶圆的直径误差为多少，这个装置都能保证晶圆抓取的稳定和安全，亦避免污染颗粒的产生。
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我们拥有一系列智能机器人产品， 包括洁净室机器人、机器人翻转轴、机器人末端执行器、晶圆对准器等。无论是Taiko 、厚、翘曲、透明、穿孔 或者脆弱晶圆、使晶圆运输更轻松、更安全，
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